淄博博山圣泽工业泵厂
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浅谈现如今真空泵的未来发展趋势与现状

关于真空泵的发展趋势与现状
  真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
 
  涡旋水环真空泵的研究始于20世纪80年代末期。1988年,日本东京大学的MorishitaE研制了抽速为200L/min的立式自转型油润滑涡旋水环真空泵,与公转型涡旋真空泵相比,该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。而涡旋泵与旋片泵相比,具有更高的容积效率,泵内的振动和噪声水平都有所降低。此外,由于其结构更紧凑,整机重量和体积分别减少了12%和40%。MorishitaE的研究表明了涡旋真空泵的高效性,并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效方法。随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大,人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题,是干式涡旋真空泵研究的关键。1990年,KushiroT研制了抽速为600L/min的卧式干式涡旋真空泵。
 
  水环真空泵也可以采用其它液体作工作液,所以又称为液环真空泵,以水作为工作液进行叙述。水环真空泵在消耗电能的同时,还要消耗清水。长期以来,由于人们对水环真空泵产品的特性了解不多,往往忽视了对其节能、节水的考虑。本文根据水环真空泵在不同工况下的运行特点,介绍如何采用智能化控制的方式,使水环真空泵在最经济的状态下运行,水环真空泵在工作过程中,吸气口与被抽系统相连,对系统进行气体抽吸,形成真空。排出侧在排气的过程中还会带出工作水。要连续不断地向真空泵提供工作水。

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